奈米壓痕儀主要用於測量奈米尺度的硬度與彈性模量↟▩│▩，可以用於研究或測試薄膜等奈米材料的接觸剛度₪·、蠕變₪·、彈性功₪·、塑性功₪·、斷裂韌性₪·、應力-應變曲線₪·、疲勞₪·、儲存模量及損耗模量等特性▩│。可適用於有機或無機₪·、軟質或硬質材料的檢測分析↟▩│▩，包括PVD₪·、CVD₪·、PECVD薄膜↟▩│▩，感光薄膜↟▩│▩，彩繪釉漆↟▩│▩，光學薄膜↟▩│▩，微電子鍍膜↟▩│▩，保護性薄膜↟▩│▩，裝飾性薄膜等等▩│。基體可以為軟質或硬質材料↟▩│▩，包括金屬₪·、合金₪·、半導體₪·、玻璃₪·、礦物和有機材料等▩│。
（1）試樣製備簡單▩│。奈米壓痕儀測試一般對試樣表面粗糙度有特殊要求↟▩│▩，對被測試樣的形狀尺寸並無特殊要求↟▩│▩，壓入深度在微奈米尺度↟▩│▩，是一種無損測試方法▩│。
（2）測量分辨力高▩│。吉大奈米壓痕儀位移解析度達到0.05nm↟▩│▩，力學解析度100nN▩│。瑞士的裝置力學解析度0.5nN↟▩│▩，位移解析度0.05nm▩│。
（3）操作方便▩│。利用載荷-深度曲線↟▩│▩，可直接換算得到接觸面積↟▩│▩，無需對殘餘壓痕面積進行測定▩│。
（4）測試內容豐富▩│。利用奈米壓痕儀測試不僅可以獲得硬度₪·、彈性模量↟▩│▩，還可以獲得塑性引數₪·、斷裂引數₪·、黏彈引數等▩│。
（5）奈米壓痕儀應用範圍廣▩│。可廣泛應用於金屬₪·、陶瓷₪·、薄膜材料₪·、複合材料₪·、生物材料₪·、特殊功能材料₪·、微機電系統中微構件等眾多材料和結構的力學測試▩│。
