奈米壓痕儀主要用於微奈米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試₪✘▩☁，測試結果透過力與壓入深度的曲線計算得出₪✘▩☁，無需透過顯微鏡觀察壓痕面積☁││✘·。
劃痕法透過使用不同的感測器（聲發射✘·✘·、劃痕位移✘·✘·、摩擦力）和影片顯微鏡觀察獲得臨界載荷資料來量化不同的膜-基材組合的結合效能☁││✘·。主要研究材料的磨損或去除機制₪✘▩☁，廣泛應用於薄膜或塗層結合強度的測試☁││✘·。影響奈米劃痕過程的主要因素包括壓頭型別✘·✘·、劃痕速度✘·✘·、劃痕深度和材料特性等☁││✘·。
使用奈米壓痕儀要滿足哪些要求◕◕╃：
1.樣品要求◕◕╃：上下表面平行拋光₪✘▩☁，直徑不超過30mm₪✘▩☁，高度不超過20mm₪✘▩☁，如果高度超過10mm₪✘▩☁，直徑需保證是30mm左右₪✘▩☁，如果直徑小於10mm₪✘▩☁，那麼高度建議5mm以下₪✘▩☁，利於樣品測試過程中的穩固；如果是鑲的樣品₪✘▩☁，加工成直徑31.5mm₪✘▩☁，要不然容易打偏；
2.特別注意◕◕╃：試樣厚度至少大於壓入深度h的10倍以上₪✘▩☁，壓入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；壓入深度小於100nm資料可靠度不高；壓入深度一般2-3微米₪✘▩☁，深度再大沒有太大意義；對於表面比較粗糙的樣品₪✘▩☁，測試結果比較離散₪✘▩☁，建議測試點數不低於10個；樣品表面平整₪✘▩☁，不得有油汙✘·✘·、顆粒物等汙染物；提供樣品的泊松比☁││✘·。
